氟硅酸铜，常见的有四水合物 CuSiF₆・4H₂O 和六水合物 CuSiF₆・6H₂O。蓝色单斜荧光结晶，无臭无味，溶于水，在水中的溶解度随温度升高而增加，能溶于氢氟酸，发生反应。

制备方法

中和法：以氟硅酸和氢氧化铜为原料制备氟硅酸铜，反应式为 H₂SiF₆ + Cu (OH)₂ → CuSiF₆ + 2H₂O。将氟硅酸净化除去氟离子和硫酸根离子后加入到氢氧化铜溶液中进行中和反应，反应完成后真空浓缩、冷却结晶、干燥制得产品。

合成法：反应式为 CuO + 2HF = CuF₂ + H₂O，CuF₂ + SiF₄ → CuSiF₆。第一步反应中氢氟酸不可过量，否则氟化铜会与过量氢氟酸络合生成氟铜酸 H₂CuF₄，而氟离子和二价铜离子的配位能力超过了和四价硅离子的配位能力，使得下一步反应无法进行。