化学式及分子量：六氟磷酸锂的化学式为 LiPF₆，分子量约为 151.905；六氟磷酸铯的化学式为 CsPF₆，分子量约为 277.87。

物理性质：两者均为白色固体粉末。但六氟磷酸锂的熔点较低，在 175-185℃时大量分解。六氟磷酸铯的熔点高于 300℃，相对更稳定。

化学性质：六氟磷酸锂热稳定性较差，在 80℃时就可能发生分解，生成 LiF 和 PF₅，且对水分非常敏感，遇痕量水会发生反应放出腐蚀性气体 HF；六氟磷酸铯常温下稳定，高温下分解产生剧毒的氟化物气体。

用途：六氟磷酸锂主要用于锂离子电池电解液，是目前商业化应用最广泛的锂电池溶质；六氟磷酸铯主要用作化学反应的催化剂和配位剂，也可作为电池和半导体行业中的电解质和溶剂，还可用于离子液体电解质、溶剂等研究领域。

制备方法：六氟磷酸锂的制备方法主要有气固反应法、氟化氢溶剂法、有机溶剂法和离子交换法等；六氟磷酸铯通常通过将氟化铯与六氟磷酸反应制得，反应一般在无氧条件下进行，以避免水分和氧气的干扰。